Диссертация на тему «Технология и свойства пленок оксида …
Технология и свойства пленок оксида цинка для тонкопленочных солнечных модулей: дис. кандидат наук: 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.