Разработка технологии изготовления тонкопленочных покрытий для …
XII Международная научно-техническая конференция «Вакуумная техника, материалы и технология» (Москва, КВЦ «Сокольники», 2017, 11 – 13 апреля) 113 Разработка технологии изготовления тонкопленочных